真空計作為測量真空度的精密儀器，其操作規(guī)范性直接影響測量精度與設(shè)備壽命，需嚴格遵循以下注意事項：

一、使用前準備階段

1.設(shè)備選型核對

l確認真空計類型與測量范圍匹配應用場景（如熱偶真空計適用于低真空，電離真空計適用于高真空），避免超量程使用導致?lián)p壞。

l檢查真空計與真空系統(tǒng)的連接接口規(guī)格（如 KF、ISO 標準），確保密封件（O 型圈、墊片）無老化、變形，必要時更換新密封件。

2.狀態(tài)檢查

l外觀檢查：查看顯示屏、按鍵、連接線纜是否完好，無破損或松動；金屬部件無銹蝕，玻璃管（如麥氏真空計）無裂痕。

l電源檢查：確認供電電壓與真空計額定電壓一致（如 220V AC 或 12V DC），接通電源前檢查電源開關(guān)處于 “OFF" 狀態(tài)，避免通電沖擊。

3.系統(tǒng)預處理

l若真空系統(tǒng)長期未使用，需先對系統(tǒng)進行清潔與干燥，去除殘留油污或水汽；連接真空計前，先啟動真空泵對系統(tǒng)預抽真空，排除大氣雜質(zhì)。

二、使用中操作規(guī)范

1.啟動與校準

l按設(shè)備說明書逐步啟動，部分真空計（如電容薄膜真空計）需預熱（通常 10-30 分鐘），待顯示屏數(shù)值穩(wěn)定后再進行測量。

l定期（建議每 3-6 個月）使用標準真空源進行校準，確保測量誤差在允許范圍內(nèi)（一般≤±5%）；若測量數(shù)據(jù)異常，需先排查是否需重新校準，而非直接調(diào)整設(shè)備參數(shù)。

2.測量過程監(jiān)控

l實時觀察真空度變化曲線，若出現(xiàn)數(shù)值驟升（如從高真空快速回到大氣壓），立即關(guān)閉真空計電源，檢查系統(tǒng)是否漏氣（可用氦質(zhì)譜檢漏儀檢測）。

l避免真空計在劇烈震動環(huán)境下工作（如靠近大功率泵體），必要時加裝減震支架，防止內(nèi)部傳感器（如熱絲、薄膜）損壞。

l禁止在真空系統(tǒng)未達到低安全真空度時，啟動高靈敏度真空計（如電離真空計），以免油氣污染傳感器。

三、使用后維護與存儲

1.設(shè)備清潔

l斷開電源后，用無塵布蘸取無水乙醇擦拭設(shè)備表面，去除灰塵與油污；連接接口處需用專用堵頭密封，防止雜質(zhì)進入。

l對于麥氏真空計等玻璃器件，若內(nèi)部出現(xiàn)油污，可注入適量Ether浸泡后，通過真空泵抽除清潔液，避免劃傷玻璃壁。

2.長期存儲要求

l存儲環(huán)境需滿足：溫度 5-35℃，濕度≤60%，無腐蝕性氣體（如氯氣、氨氣）。

l真空計需直立放置，避免重壓或堆疊；長期不使用時，建議每月通電預熱 1 次（每次 30 分鐘），防止內(nèi)部電路受潮。

四、特殊情況處理

1.突發(fā)故障應對

l若測量時顯示屏無反應，先檢查電源連接與保險絲；若熱偶真空計熱絲斷裂，需關(guān)閉電源后聯(lián)系專業(yè)人員更換，禁止自行拆解。

l真空系統(tǒng)漏氣導致數(shù)值異常時，需先關(guān)閉真空泵與真空計，待系統(tǒng)回大氣后，逐一檢查連接部位的密封情況。

2.安全防護

l操作電離真空計時，需佩戴絕緣手套，避免高壓觸電；玻璃材質(zhì)真空計破損時，需用專用工具清理碎片，防止劃傷。

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