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Alicat艾里卡特PC3S系列防腐蝕壓力控制器（帶遠(yuǎn)程傳感）用一個(gè)遠(yuǎn)程端口控制系統(tǒng)中任何一點(diǎn)的絕對(duì)壓力或測(cè)量壓力--對(duì)于所有的無腐蝕性氣體,選擇腐蝕性氣體和各種液體。

Alicat艾里卡特IVC系列集成真空控制器集成各種電容膜片壓力測(cè)量表,快速控制泵真空壓力過程。它們可以使用內(nèi)聯(lián)或單獨(dú)移植(孤立)真空傳感器。

使用Alicat艾里卡特CODA KC系列質(zhì)量流量控制器在非常困難的操作條件下進(jìn)行高精度控制。 CODA 控制器與各種液體和氣體（包括許多腐蝕性物質(zhì)）兼容，并在高達(dá) 4000 PSIA 的壓力和低至 40 g/h 的流速下保持高精度控制。

Alicat艾里卡特PC系列絕壓和表壓壓力控制器測(cè)量所有非腐蝕性氣體的絕對(duì)壓力或表壓。

Alicat艾里卡特MCE系列真空質(zhì)量流量控制器配備 1/4 英寸 VCR 配件，并與 SEMI 標(biāo)準(zhǔn) MFC 端到端匹配，可輕松直接升級(jí)到真空沉積裝置。控制 98 多種氣體的質(zhì)量流量或壓力。