Alicat MCVS防腐蝕真空氣體質(zhì)量流量控制器

l 氣動(dòng)截止閥。 配備氣動(dòng)驅(qū)動(dòng)的正向截止閥，以確保無(wú)泄漏。

l 腐蝕性氣體相容性。 與 30 多種純腐蝕性氣體和大多數(shù)制冷劑氣體兼容的接液材料。

l 用途廣泛且準(zhǔn)確。 對(duì)于 128 種以上的氣體和 20 種自定義氣體混合物，實(shí)時(shí)控制具有 NIST 可溯源精度，讀數(shù)的 ±0.5% 或滿(mǎn)量程的 ±0.1%。

l 易于集成。 定制過(guò)程端口和電氣連接器，以及您選擇的 EtherNet/IP、EtherCAT、DeviceNet、Profibus、Modbus（RTU 和 TCP/IP）或串行通信，以便輕松集成到您的工業(yè)過(guò)程中。

設(shè)備規(guī)格和定制選項(xiàng)

MCVS 系列性能（大多數(shù)產(chǎn)品）

l 可用滿(mǎn)量程范圍：0.5 SCCM 至 20 SLPM

l 穩(wěn)態(tài)控制范圍：滿(mǎn)量程的 1% – 100%

l 標(biāo)準(zhǔn)精度校準(zhǔn)，NIST 可溯源：讀數(shù)的 ±0.8% 和滿(mǎn)量程的 ±0.2%

l 可選的高精度校準(zhǔn)，NIST 可溯源：讀數(shù)的 ±0.4% 或滿(mǎn)量程的 ±0.2%

l 重復(fù)性：滿(mǎn)量程的±0.2%

l 典型控制響應(yīng)時(shí)間：最快 30 ms

l 氣動(dòng)閥泄漏完整性：最大 1 x 10-9 atm-cc/sec 氦氣

l 預(yù)熱時(shí)間：<1 s

MCVS 系列工作條件

l 兼容氣體：128 多種預(yù)加載的可選氣體校準(zhǔn)

l 工作溫度：–10°C 至 +60°C

l 滿(mǎn)量程工作壓力：160 PSIA

l 最大壓差：75 PSID

l 耐壓：200 PSIA

l 用戶(hù)可選擇的參考條件（默認(rèn)）：25°C & 1 ATM (STP) 和 0°C & 1 ATM (NTP)

Alicat MCVS防腐蝕真空氣體質(zhì)量流量控制器

設(shè)備范圍和完整規(guī)格

設(shè)備的定制范圍從 0.5 SCCM 滿(mǎn)量程到 20 SLPM 滿(mǎn)量程，可控范圍為滿(mǎn)量程的 1% 到 100%。

設(shè)備特點(diǎn)

每個(gè)設(shè)備都包含

l 多變量過(guò)程測(cè)量：同時(shí)測(cè)量質(zhì)量流量、體積流量、氣體壓力和氣體溫度。

l 用戶(hù)可更改的測(cè)量單位：從我們廣泛的工程單位列表中更改壓力、流量或溫度的測(cè)量單位。

l 氣體可選性：從我們氣體列表中的 130 多種預(yù)加載 NIST 可溯源氣體校準(zhǔn)中選擇您的工藝氣體。

l Gas Select COMPOSER™：使用我們的 Gas Select Composer™ 固件，定義多達(dá) 5 種成分氣體的 20 種自定義氣體混合物。

l 帶集成觸摸板的單色背光 LCD：使用背光顯示屏和控制配置以及用戶(hù)友好的集成觸摸板輕松讀取測(cè)量值。

l 用戶(hù)可調(diào)節(jié)的設(shè)定點(diǎn)斜坡和限制：可配置的斜坡率允許根據(jù)需要控制過(guò)程變量的快或慢，可配置的設(shè)定點(diǎn)限制可保護(hù)過(guò)程免受無(wú)意的設(shè)定點(diǎn)更改。

l 用戶(hù)可調(diào)節(jié)的標(biāo)準(zhǔn)溫度和壓力 (STP) 條件：快速更改參考條件，無(wú)需重新校準(zhǔn)。

l 閥門(mén)關(guān)閉和打開(kāi)：利用警報(bào)快速排放系統(tǒng)或根據(jù)需要停止所有流量。

購(gòu)買(mǎi)時(shí)的要求 | 免費(fèi)

l 可選的集成累加器和批次控制：每 1 毫秒?yún)R總一次質(zhì)量流量，以便隨著時(shí)間的推移精確跟蹤總流量，并使用批次控制來(lái)分配精確的體積。

購(gòu)買(mǎi)時(shí)的要求 | 附加費(fèi)用

l 可選的集成電位器控制：使用集成電位器只需轉(zhuǎn)動(dòng)旋鈕即可調(diào)整設(shè)定值。