INFICON英福康氦質(zhì)譜檢漏儀專門為半導(dǎo)體應(yīng)用中的檢漏需求而設(shè)計。

它具有靈活性、移動性、快速啟動、高靈敏度、快速和精確的測試結(jié)果以及可靠性。

l 由于更高的空氣泵送速度，更快的泵降（排空）時間。

l 由于低維護的根部粗加工泵，總擁有成本（TCO）更低。

l 由于HYDRO-S軟件消除了水蒸氣背景，更早地開始檢漏，使得快速達到敏感測量范圍成為可能

l UL3000 Fab ULTRA還通過使用成熟的吸污管線SL3000提供了改進的吸污能力，該吸污管線長度可達10米。SL3000有一個單獨的連接端口，因此不需要連接到真空入口。

快速的結(jié)果

改進后的真空系統(tǒng)帶有低維護的真空泵，可以從大氣壓開始檢測泄漏。堅固的質(zhì)譜儀系統(tǒng)確保了長時間的運行和低維護成本。

可旋轉(zhuǎn)的顯示器和可遠程控制的用戶接口

新的觸摸屏顯示，即使在遠距離也能顯示測試結(jié)果和狀態(tài)信息。通過用戶指導(dǎo)的菜單結(jié)構(gòu)，即使是沒有經(jīng)驗的操作員也能輕松操作。通過智能手機或平板電腦可以對UL3000 Fab（ULTRA）進行無線控制--無需特殊軟件或Apps。通過按鈕記錄和存儲測試結(jié)果，可以傳輸?shù)狡渌鎯橘|(zhì)，以便進一步分析。

纖細的設(shè)計，先進的可操作性

低重心、大輪子、符合人體工程學(xué)設(shè)計的手柄和纖細的外殼使UL3000 Fab (ULTRA)即使在狹小的空間也有良好的移動性。

優(yōu)勢

l 采用I-CAL軟件算法，在10-9至10-12mbar-l/s范圍內(nèi)快速測量，節(jié)省時間

l 使用I-ZERO 2.0進行有效的檢漏，其改進的智能功能可在保持高測量靈敏度的同時進行快速背景抑制

l 適用于真空和嗅探檢漏

l 通過快速排空和響應(yīng)時間，最大限度地減少檢漏工作

l 纖細的設(shè)計，易于操作，節(jié)省時間

l 堅固的離子源（3年保修）和逆流真空系統(tǒng)使總擁有成本（TCO）較低

l 逆流式真空系統(tǒng)

l 易于使用，由操作員指導(dǎo)的人機界面，帶有全彩高分辨率可旋轉(zhuǎn)顯示器

l UL3000 Fab ULTRA：由于HYDRO-S軟件消除了水蒸氣背景，使其有可能迅速達到敏感的測量范圍，從而更早開始檢漏。

l UL3000 Fab ULTRA: 由于更高的空氣泵送速度，更快的泵降（排空）時間

l 根部泵的速度更快

l UL3000 Fab ULTRA: 由于根部泵的低維護率，總擁有成本（TCO）更低。粗加工泵。

l UL3000 Fab ULTRA：通過使用久經(jīng)考驗的吸污管線SL3000，該檢漏儀還提供了改進的吸污能力，其長度可達10米。SL3000有一個單獨的連接端口，因此不需要連接到真空入口。

典型應(yīng)用

l 半導(dǎo)體工廠

l 平板顯示器制造

l 太陽能電池的制造

l 玻璃和卷材（卷對卷）鍍膜

l 一般真空鍍膜和應(yīng)用

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