旋片式真空泵是一種通過旋轉(zhuǎn)部件改變泵腔容積，實(shí)現(xiàn)吸氣和排氣的容積式真空泵，其工作原理基于轉(zhuǎn)子與旋片的協(xié)同運(yùn)動，具體過程如下：

核心結(jié)構(gòu)

泵的核心部件包括圓柱形泵腔、偏心安裝的轉(zhuǎn)子（轉(zhuǎn)子外圓與泵腔內(nèi)壁相切或保持微小間隙）、以及嵌在轉(zhuǎn)子徑向槽內(nèi)的旋片（通常為 2 片，由彈簧或離心力推動，始終與泵腔內(nèi)壁緊密接觸）。

工作過程

1.吸氣階段
當(dāng)轉(zhuǎn)子繞軸心旋轉(zhuǎn)時(shí)，旋片在離心力（或彈簧力）作用下緊貼泵腔內(nèi)壁，將泵腔分隔成兩個(gè)或多個(gè)可變?nèi)莘e的 “工作室"。隨著轉(zhuǎn)子轉(zhuǎn)動，某個(gè)工作室的容積逐漸增大，內(nèi)部氣壓降低（低于被抽容器的壓力），此時(shí)被抽容器內(nèi)的氣體通過進(jìn)氣口進(jìn)入該工作室，直至容積達(dá)到最大，吸氣過程結(jié)束。

2.壓縮階段
轉(zhuǎn)子繼續(xù)旋轉(zhuǎn)，已吸入氣體的工作室容積逐漸縮小，氣體被壓縮，壓力升高。這一過程中，旋片與泵腔內(nèi)壁的密封作用確保氣體不會回流。

3.排氣階段
當(dāng)被壓縮氣體的壓力超過排氣口外的壓力（通常為大氣壓）時(shí)，排氣閥（單向閥）被推開，壓縮后的氣體通過排氣口排出泵外。隨著轉(zhuǎn)子轉(zhuǎn)動至特定角度，該工作室的容積縮小至最小，氣體被排出，排氣閥在彈簧力作用下關(guān)閉，避免外界氣體倒灌。

循環(huán)往復(fù)

轉(zhuǎn)子持續(xù)旋轉(zhuǎn)，旋片不斷分隔、改變工作室的容積，使吸氣、壓縮、排氣三個(gè)階段周而復(fù)始地交替進(jìn)行，從而持續(xù)抽取被抽容器內(nèi)的氣體，逐步降低其壓力，達(dá)到抽真空的目的。

關(guān)鍵特點(diǎn)

l利用旋片與轉(zhuǎn)子的旋轉(zhuǎn)運(yùn)動，實(shí)現(xiàn)無往復(fù)運(yùn)動的連續(xù)工作，運(yùn)行平穩(wěn)、噪聲較低。

l由于旋片與泵腔的緊密接觸，可獲得較高的真空度（單級泵極限真空度通常為 10?1~10?2Pa，雙級泵可達(dá) 10??~10??Pa）。

l工作介質(zhì)通常為真空泵油，既起到密封作用（填補(bǔ)間隙），又能潤滑部件、冷卻泵體。

旋片式真空泵因結(jié)構(gòu)緊湊、操作簡便，廣泛應(yīng)用于實(shí)驗(yàn)室、電子、真空鍍膜、化工等領(lǐng)域，適合抽取干燥氣體（若抽濕氣體需搭配氣鎮(zhèn)裝置）。

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